日研究团队制作了高质量2英寸GaN芯片和MOSFET

企业荣誉 / 2021-07-19 02:03

本文摘要:日本三菱化学及富士电机、丰田中央研究所、京都大学、产业技术综合研究所的牵头团队顺利解决问题了在氮化镓(GaN)芯片上构成GaN元件功率半导体关键技术。GaN功率半导体是碳化硅功率半导体的下一代技术。日本通过发光二极管的研发累积了GaN元件技术,GaN芯片生产量占有世界最低份额。 若做现有技术的实用化,将正处于世界优势地位。功率半导体不利于家电、汽车、电车等的节约能源,产业市场需求相当大。

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日本三菱化学及富士电机、丰田中央研究所、京都大学、产业技术综合研究所的牵头团队顺利解决问题了在氮化镓(GaN)芯片上构成GaN元件功率半导体关键技术。GaN功率半导体是碳化硅功率半导体的下一代技术。日本通过发光二极管的研发累积了GaN元件技术,GaN芯片生产量占有世界最低份额。

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若做现有技术的实用化,将正处于世界优势地位。功率半导体不利于家电、汽车、电车等的节约能源,产业市场需求相当大。GaN功率半导体中,硅基板上构成横型GaN系由的高电子迁移率晶体管等设备早已量产,但是,GaN基板上构成GaN的金属-氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)高性能设备的研究刚跟上。美国也在大力研究,世界研发竞争白热化。

日牵头团队制作了高质量2英寸GaN芯片和MOSFET。三菱化学面向功率半导体改进了GaN芯片量产技术“氨热热法”。优化晶体茁壮条件,将芯片平均值缺失密度,增加到以往的数百分之一、每1平方厘米数千个水平。

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他们2018年度目标是使缺失更进一步减少1位数以上,构建4英寸大尺寸芯片。富士电机等制作的MOSFET,元件性能指标之一的移动度比碳化硅功率半导体低,保证了实际工作所适当的于是以阈值电压。GaN的MOSFET兼具这些特性为首例。

丰田中央研究所通过新的离子注入法试制成功了GaN的pn结。“新一代功率电子工业”为日内阁府发展战略性创意建构计划的一环。今后,日研究团队将从芯片到元件构成、加工技术、基础物性的理解等各个方面应从,检验其实用性,尤其要将元件纵型制作,以便通过大电流。


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